雙級(jí)減壓器與單級(jí)減壓器
雙級(jí)減壓器(Two Stage Regulator)
 
　　氣體工業(yè)名詞，氣體經(jīng)兩次減壓到使用壓力。其流速和壓力穩(wěn)定性優(yōu)于單級(jí)減壓器。屬于高純，防擴(kuò)散，金屬膜片結(jié)構(gòu)；采用316L或黃銅材質(zhì)；組裝前所有零部件均經(jīng)超聲波清洗；在100級(jí)潔凈室內(nèi)組裝，試驗(yàn)和包裝。包裝在充氮?dú)?經(jīng)0101Lm過(guò)濾器過(guò)濾)的雙層聚乙烯袋中。要求減壓器死體積小。入口壓力最高為21MPa；出口壓力為01007～015MPa，流量系數(shù)為0106，工作溫度為-40～175℃，內(nèi)表面光潔度為15～25Ra，內(nèi)漏1×10-9mLs(He)；出口壓力升高：入口壓力每升高017MPa，則出口壓力上升7kPa。

（注：圖中所示為KZ03系列空氣過(guò)濾減壓器）

單級(jí)減壓器(Single Stage Regulator)
 
　　　氣體工業(yè)名詞，氣體經(jīng)一次減壓到使用壓力，由于壓比大，排氣壓力的穩(wěn)定性比雙級(jí)減壓器差，但結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，價(jià)格相對(duì)要便宜一些。通常安裝在鋼瓶出口管上，適用于高純氣體，有毒氣體，腐蝕性氣體。裝有20Lm過(guò)濾器，以保護(hù)提動(dòng)頭不受外部污染。與氣體接觸的部件全部采用316L不銹鋼，經(jīng)電化學(xué)拋光和鈍化處理，表面光潔度為15Ra。所有部件經(jīng)超聲波清洗，在100級(jí)潔凈室內(nèi)組裝，試驗(yàn)和包裝。每臺(tái)減壓器需單獨(dú)進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏，包裝在充氮?dú)獾碾p層聚乙烯袋中。進(jìn)口氣體壓力從負(fù)壓到2410MPa；排氣壓力為01007～015MPa，試驗(yàn)壓力為34MPa；流量系數(shù)(CV)為0109；工作溫度為-40～71℃；內(nèi)漏2×10-10mLs(He)；外漏2×10-9mLs(入口壓力2MPa)。